• Si + 2F2 = SiF4

• 4HF + SiO2 = SiF4 + 2H2O

• 4HF + Si = SiF4 + 2H2

• CaSiO3 + 6HF = 3H2O + SiF4 + CaF2

• SiF4 + 8NaOH = Na4SiO4 + 4NaF + 4H2O

• 2XeF6 + SiO2 = 2XeOF4 + SiF4

• H2SiF6 = SiF4 + 2HF

• 2CaF2 + 2H2SO4 + SiO2 = 2CaSO4 + SiF4 + 2H2O

• SiF4 + 4H2O = 4HF + Si(OH)4

• SiC + 4F2 = CF4 + SiF4